´ã´çÀÚ |
¿¬¶ôó |
À̸ÞÀÏ |
±èÅ¿µ |
055-792-2761 |
tykim@kicet.re.kr |
°íÀÎȯ |
055-792-2790 |
johngo@kicet.re.kr |
Á¤¼ö¹Ì |
055-792-2735 |
170405@kicet.re.kr |
¹ÚÁ¤¹Î |
055-792-2759 |
fesem_min@kicet.re.kr |
ÃÖÀºÇý |
055-792-2756 |
choieunhye@kicet.re.kr |
À̼±È« |
055-792-2763 |
sh0381@kicet.re.kr |
ÀüÀÚ¹æ»çÇü ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ
¼³ºñ»ç¾ç |
ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý |
½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) |
½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç° |
∙¼ÒÀç,¿ø·á, Á¦Ç° ¹Ì¼¼±¸Á¶ ¹× ¿ø¼Ò Á¶¼º ºÐ¼® ∙ºÐÇØ´É: 1.0nm(15KV)
| |
|
|
°íºÐÇØ´ÉX-¼± ȸÀýºÐ¼®±â
¼³ºñ»ç¾ç |
ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý |
½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) |
½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç° |
∙÷´Ü¼¼¶ó¹Í, ÈñÅä·ù ¹× ¼®¸é ½ÃÇèºÐ¼® ∙power: 9kW
| |
|
|
À¯µµ°áÇÕÇöóÁ Áú·®ºÐ¼®±â
¼³ºñ»ç¾ç |
ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý |
½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) |
½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç° |
∙¼¼¶ó¹Í, ±¤¹° ¹× ÁöÁú½Ã·á ¹«±â¿ø¼Ò Á¤¼º/Á¤·® ºÐ¼® ∙RF generator: 27MHz
| |
|
|
¿ø¼ÒºÐ¼®±â
¼³ºñ»ç¾ç |
ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý |
½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) |
½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç° |
∙C, S, N, O ¿ø¼Ò ºÐ¼® ∙ºÐ¼®¹üÀ§: C/S: 2ppm, N/O: 1ppm
| |
|
|
X-¼± Çü±¤ºÐ¼®±â
¼³ºñ»ç¾ç |
ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý |
½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) |
½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç° |
∙÷´Ü¼¼¶ó¹Í¼ÒÀç ¹Ì·® Á¤¼º, Á¤·® ¿ø¼Ò ºÐ¼® ∙power : 4kW
| |
|
|
ÃÊ°í¿Â¿ë ¿Àüµµµµ ºÐ¼®±â
¼³ºñ»ç¾ç |
ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý |
½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) |
½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç° |
∙ÃÊÁ¤¹Ð/ÃÊ°í¿Â À¶ÇÕ¼¼¶ó¹Í¼ÒÀç ¿Àüµµµµ ÃøÁ¤ ∙ÃøÁ¤¹üÀ§: 25~2500¡É
| |
|
|
·¹ÀÌÀú ¾îºí·¹ÀÌ¼Ç À¯µµÇöóÁºÐ±¤ºÐ¼®±â
¼³ºñ»ç¾ç |
ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý |
½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) |
½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç° |
∙³¿ëÇؼº ¼¼¶ó¹Ì¼ÒÀç ¼øµµ ºÐ¼® ∙213nm ArF laser
| |
|
|
X-¼± CT ½Ã½ºÅÛ
¼³ºñ»ç¾ç |
ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý |
½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) |
½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç° |
∙ºÎÇ° ¹× ¸ðµâ ºñÆı« °áÇÔ°Ë»ç ∙X-ray power Max. 225kV
| |
|
|
|