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061-270-5010 |
rainbow@jntp.or.kr |
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061-270-5011 |
jhpark@jntp.or.kr |
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061-270-5002 |
lbk335@jntp.or.kr |
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∙ÃÖ°í Disc ¼Óµµ : 12000 rpm
∙Work Zone : ¥Õ2500 ¡¿ 1300(H) mm
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∙Plate Power Supply : 15~60 kW(2~5 Mhz¿¡¼ ±¸µ¿)
∙ÅõÀÔÀÔÀÚ Å©±â : 0.1 ~ 100 §
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∙ÃÖ°í¾Ð·Â : 1500 ton
∙º¸À¯±ÝÇü Á¾·ù : 390¡¿390mm, ¥Õ650mm
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CIP
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∙Work Zone : ¥Õ1000 ¡¿ 2500(H) mm
∙ÃÖ°í¾Ð·Â : 200 Mpa
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∙Work Zone : 1000(W) ¡¿ 2000(D) ¡¿ 1500(H) mm
∙ÃÖ°í¿Âµµ : 1650¡É
∙ºÐÀ§±â : Air
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∙Work Zone : 1100(L) ¡¿ 1200(W) ¡¿ 550(H) mm
∙ÃÖ°í¿Âµµ : 2200¡É
∙ºÐÀ§±â : Vacuum, Ar, N2
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∙Work Zone : 1050(L) ¡¿ 1050(W) ¡¿ 900(H) mm
∙ÃÖ°í¿Âµµ : 2200¡É
∙ºÐÀ§±â : HCl, N2
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SiC-CVD
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∙Work Zone : ¥Õ800 ¡¿ 1400(H) mm
∙ÃÖ°í¿Âµµ : 1800¡É
∙ºÐÀ§±â : MTS(CH3SiCl3), H2, N2, Ar
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GPS
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∙Work Zone : ¥Õ400 ¡¿ 400(H) mm
∙ÃÖ°í¿Âµµ : 2000¡É
∙ºÐÀ§±â : Vacuum, Ar, N2
∙ÃÖ°í°¡¾Ð¾Ð·Â : 60 bar
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HIP
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∙Furnace Type : Graphite, Molybdenum
∙Work Zone : ¥Õ320 ¡¿ 900(H)mm, ¥Õ380 ¡¿ 1400(H)mm
∙ÃÖ°í¿Âµµ : 2000¡É, 1550¡É
∙ºÐÀ§±â : Ar
∙ÃÖ°í°¡¾Ð¾Ð·Â : 2000 bar
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