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ºÀ¼ºÀç 061-395-3177 bsj01@jntp.or.kr
±èµ¿¼· 061-395-3173 kimdongseob@jntp.or.kr
¸í±¹µµ 061-395-3182 mkd0715@jntp.or.kr
¿ÀÀç¿ë 061-395-3172 twinso2@jntp.or.kr
ÃÖ¿øÀÏ 061-395-3176 wichoi@jntp.or.kr
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∙·¹ÀÌÀú ÆÄÀå, Ãâ·Â, ÆÞ½ºÆø : 1030/515/343nm, 6/3/1.8W, 190fs
∙À̼۰è, ±¤Çаè : 750¡¿500¡¿150mm3(air bearing), FOV 80¡¿80mm2
°í¼Ó Àý´Ü ¹× µå¸± ½Ã½ºÅÛ
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∙·¹ÀÌÀú ÆÄÀå, Ãâ·Â, ÆÞ½ºÆø : 515nm, 90W(world best), 10ps
∙À̼۰è, ºö À̼ۼӵµ : 1070¡¿900¡¿60mm3(LM), 2m/s
³ª³ëÃÊ DUV ·¹ÀÌÀú±â¹Ý °¡°ø½Ã½ºÅÛ
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∙·¹ÀÌÀú ÆÄÀå, Ãâ·Â, ÆÞ½ºÆø : 266nm, 3W, < 20ns
∙À̼۰è, ±¤Çаè : 650¡¿650¡¿150mm3(LM), FOV 70¡¿70mm2
CO2 ·¹ÀÌÀú±â¹Ý °¡°ø½Ã½ºÅÛ
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∙·¹ÀÌÀú ÆÄÀå, Ãâ·Â, ¹Ýº¹À² : 9.36µm, 225W, ¡Â 200KHz
∙À̼۰è, ±¤Çаè : 500¡¿500¡¿150mm3(LM), FOV 80¡¿80mm2
5Ãà ·¹ÀÌÀú °¡°ø±â
¼³ºñ»ç¾ç ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý ½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) ½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç°
∙·¹ÀÌÀú ÆÄÀå, Ãâ·Â : 1070nm(fiber laser), 500W
∙À̼۰è : 800¡¿600¡¿400mm3(X-Y-Z), n¡¿360¡Æ(¥è), ¡¾135¡Æ(¥Õ)
Àڿܼ± ·¹ÀÌÀú±â¹Ý ÆÐÅÍ´× ½Ã½ºÅÛ
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∙·¹ÀÌÀú ÆÄÀå, ¹Ýº¹À², ¿¡³ÊÁö : 193nm, 100Hz, 400mJ
∙À̼۰è, ±¤Çаè : 300¡¿350¡¿100mm3(LM), Beam size 3¡¿3mm2
´Ù¸ñÀû ±¤¼¶À¯ °ÝÀÚ °¡°ø½Ã½ºÅÛ
¼³ºñ»ç¾ç ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý ½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) ½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç°
∙·¹ÀÌÀú ÆÄÀå, ¹Ýº¹À², ¿¡³ÊÁö : 248nm, 100Hz, 130mJ
∙À̼۰è, ±¤Çаè : 400¡¿250¡¿50mm3(LM), Beam size 3.5¡¿1.5mm2
Àü°è¹æÃâÇü ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ
¼³ºñ»ç¾ç ÀÎÁõ½ÃÇè±Ô°Ý ½ÃÇèÇ׸ñ(Àû¿ë¹üÀ§) ½ÃÇèÀÎÁõ ´ë»óÁ¦Ç°
∙°¡¼ÓÀü¾Ð : 0.05¡­30KV(cold cathode, field-emission)
∙ºÐÇØ´É, ¹èÀ² : 1.0nm@15KV, 1.4nm@1KV, 20¡¿¡­800,000¡¿
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